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PLF系列壓電掃描納米位移臺(tái)
SMARFLEX納米掃描位移臺(tái)，采用壓電驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)掃描范圍可高達(dá)幾百μm的高精度定位。對(duì)于AFM這類(lèi)掃描應(yīng)用，SMARFLEX可提供極大的掃描速度和極小的掃描誤差。對(duì)于光學(xué)顯微應(yīng)用，SMARFLEX可用于精確聚焦及光纖耦合等場(chǎng)景。
| 型號(hào) | 掃描范圍 | 負(fù)載 | 尺寸 | 掃描方向 |
| PLF-3232-x.60 | > 60μm | 5N | 32 x 32 x 12 mm3 | X |
| PLF-3232-xy.60 | > 60μm | 5N | 32 x 32 x 20 mm3 | X，Y |
| PLF-3232-z.60 | > 60μm | 5N | 32 x 32 x 15 mm3 | Z |
| PLF-5252-x.200 | > 200μm | 5N | 52 x 52 x 15 mm3 | X |
可選材質(zhì)：Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al)
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MLL系列直線納米位移臺(tái)-電磁驅(qū)動(dòng)技術(shù)、超大行程
MLL-400系列直線納米位移臺(tái)
| 機(jī)械參數(shù) | |
| 行程(mm) | 200 | 300 |
| 連續(xù)力(N) | 6 |
| 峰值力(N) | 18 |
| 垂直負(fù)載力(N) | 50 |
| 無(wú)負(fù)載移動(dòng)質(zhì)量(g) | 下軸：13000，上軸：6000 |
| 尺寸(mm) | 400x400x70 |
| 自重(kg) | 21 |
| 材料 | |
| 基板材料 | 陽(yáng)極氧化鋁 |
| 閉環(huán)控制 | |
| 最大速度(mm/s) | 下軸：200，上軸200 |
| 單向重復(fù)性(nm)，MCS2控制器 | < ±100 | 150 |
MLL-82系列直線納米位移臺(tái)
| 機(jī)械參數(shù) | |
| 行程(mm) | 105——405 |
| 連續(xù)力(N) | 5 |
| 峰值力(N) | 15 |
| 垂直負(fù)載力(N) | 50 |
| 無(wú)負(fù)載移動(dòng)質(zhì)量(g) | 400 |
| 尺寸(mm) | 82 x 250——550 x 30 |
| 材料 | |
| 基板材料 | 陽(yáng)極氧化鋁 |
| 閉環(huán)控制 | |
| 最大速度(mm/s) | 2000 mm/s (MLL-82-500) |
| 單向重復(fù)性(nm)，MCS2控制器 | < ±45 |
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MR系列旋轉(zhuǎn)臺(tái)-電磁驅(qū)動(dòng)技術(shù)
MR-9224旋轉(zhuǎn)臺(tái)
| 機(jī)械參數(shù) | |
| 行程(°) | 360 |
| 連續(xù)扭矩(Ncm) | >10 |
| 峰值扭矩(N) | >30 |
| 垂直負(fù)載力(N) | 50 |
| 孔徑(mm) | 25 |
| 尺寸(mm) | 92 x 92 x 24 |
| 自重(g) | 650 |
| 材料 | |
| 基板材料 | 陽(yáng)極氧化鋁 |
| 開(kāi)環(huán)控制 | |
| 最大角速度(°/s) | 3000 |
| 閉環(huán)控制 | |
| 傳感器分辨率(μ°) | <2 |
| 單向重復(fù)性(μ°) | 40 |
| 最大角速度(°/s) | 3000 |
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SmarAct微夾鉗
SmarAct SG系列可提供兩種規(guī)格的微夾鉗(Micro-Grippers)：SG-1730和SGP-17F.
在自動(dòng)裝配線上對(duì)部件、零件和工具的精確處理，以及生命科學(xué)中對(duì)樣品的處理和操控是至關(guān)重要的定位任務(wù)。為了滿(mǎn)足不斷增長(zhǎng)的需求，以非常高的精度控制鑷子、鉗子和夾鉗，SmarAct提供多種靈活的夾持解決方案和產(chǎn)品組合。
模塊化是SG系列的主要特點(diǎn)之一，SmarAct所有的夾鉗包括一個(gè)線性定位器和一個(gè)夾具。夾具可以很容易地切換，可以根據(jù)需要定制，幾種專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的不同夾鉗嘴可供選擇。
當(dāng)配備位置傳感器時(shí)，夾鉗可以對(duì)夾持過(guò)程和夾具開(kāi)合進(jìn)行全閉環(huán)控制。此外，SGP-17F平行微夾鉗集成力傳感器，它不僅可以控制夾具開(kāi)口，同時(shí)在處理易碎或高度脆弱的物體時(shí)，也能控制夾持力度。
SG-1730
| 參數(shù) | 機(jī)械尺寸 |
| 開(kāi)口 | >1mm |
| 夾持力 | 1N |
| 尺寸 | 17 x 32 x 10mm |
| 重量 | 25g |
| 夾具類(lèi)型 | 可更換（-EX） |
 |
|
| 參數(shù) | 閉環(huán)控制 |
| 傳感器類(lèi)型 | -S, -L |
| 夾持速度 | <10ms |
| 夾持分辨率 | <10nm |
| 參數(shù) | 選項(xiàng) |
| 材質(zhì) | 鋁材質(zhì)，陽(yáng)極發(fā)黑（-BK） |
| 真空兼容 | HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) |
SGP-17F
| 參數(shù) | 機(jī)械尺寸 |
| 開(kāi)口 | <10mm |
| 夾持力 | 3,5N |
| 尺寸 | 30 x 35 x 14mm |
| 重量 | 40g |
| 參數(shù) | 閉環(huán)控制 |
| 傳感器類(lèi)型 | -S, -L |
| 夾持速度 | <10ms |
| 夾持分辨率 | <10nm |
| 參數(shù) | 選項(xiàng) |
| 材質(zhì) | 鋁材質(zhì)，陽(yáng)極發(fā)黑（-BK） |
| 真空兼容 | HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) |
SmarAct提供一系列標(biāo)準(zhǔn)夾具，同時(shí)可根據(jù)用戶(hù)需求定制夾具，以及相關(guān)的定位控制系統(tǒng)。
如需定制化方案，請(qǐng)與我們聯(lián)系。
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CLS系列直線納米位移臺(tái)-可更換摩擦元件EDU設(shè)計(jì)
CLS-32系列直線納米位移臺(tái)
| 型號(hào) | 行程 | 尺寸 | 重量 |
| CLS-3232 | 21 mm | ?32 x 32 x11 mm3 | 33 g |
| CLS-3252 | 31 mm | 32 x 52 x 11 mm3 | 54 g |
| CLS-3282 | 51 mm | 32 x 82 x 11 mm3 | 87 g |
- 阻塞力≥3.5N
- 垂直負(fù)載：3kg
- Z向使用舉力>1.5N
CLS-52系列直線納米位移臺(tái)
| 型號(hào) | 行程 | 尺寸 | 重量 |
| CLS-5252 | 31 mm | 52 x 52 x 14 mm3 | 94 g |
| CLS-5282 | 51 mm | 52 x 82 x 14 mm3 | 157 g |
- 阻塞力≥3.5N
- 垂直負(fù)載：2kg
- Z向使用舉力>1N
CLS-92系列直線納米位移臺(tái)
| 型號(hào) | 行程 | 尺寸 | 重量 |
| CLS-9292 | 63 mm | 92 x 92 x 17 mm3 | 357 g |
| CLS-92152 | 103 mm | 92 x 152 x 17 mm3 | 591 g |
- 阻塞力≥3.5N
- 垂直負(fù)載：3kg
其他參數(shù)及選項(xiàng)
- 開(kāi)環(huán)控制
- 速度>20mm/s
- 分辨率<1nm
- 閉環(huán)控制
- 分辨率(MCS2控制器)：1nm(-S), 4nm(-L)
- 雙向全行程重復(fù)精度(MCS2控制器)：±50nm(-S), ±100nm(-L)
- 分辨率(SCU控制器)：4nm(-L)
- 全行程重復(fù)精度(SCU控制器)：±1000nm(-L)
- 材質(zhì)選項(xiàng)：標(biāo)準(zhǔn)鋁座材質(zhì)，鈦?zhàn)馁|(zhì)(-TI)
- 真空兼容性：-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
- 無(wú)磁選項(xiàng)：-NM
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MLS系列直線納米位移臺(tái)-電磁驅(qū)動(dòng)技術(shù)
MLS-32系列直線納米位移臺(tái)
| 型號(hào) | 行程 | 尺寸 | 重量 |
| MLS-3252 | 25 mm | 32 x 52 x 15 mm3 | 80 g |
- 連續(xù)力：1N
- 峰值力：2.5N
- 垂直負(fù)載：1kg
- 移動(dòng)質(zhì)量：40g
- 閉環(huán)控制
- 速度：350mm/s (半行程，無(wú)負(fù)載)
- 最大加速度：50m/s2(無(wú)負(fù)載)
- 定位穩(wěn)定性：3nm
- 全行程重復(fù)精度(MCS2控制器)：±50nm(單向), ±200nm(雙向)
MLS-52系列直線納米位移臺(tái)
| 型號(hào) | 行程 | 尺寸 | 重量 |
| MLS-5282 | 38 mm | 52 x 82 x 14 mm3 | 200 g |
- 連續(xù)力：2N
- 峰值力：5N
- 垂直負(fù)載：2kg
- 移動(dòng)質(zhì)量：100g
- 閉環(huán)控制
- 速度：750mm/s (半行程，無(wú)負(fù)載)
- 最大加速度：45m/s2(無(wú)負(fù)載)
- 定位穩(wěn)定性：3nm
- 全行程重復(fù)精度(MCS2控制器)：±50nm(單向), ±200nm(雙向)
MLS-92系列直線納米位移臺(tái)
| 型號(hào) | 行程 | 尺寸 | 重量 |
| MLS-92122 | 65 mm | 92 x 122 x 17 mm3 | 640 g |
- 連續(xù)力：7.5N
- 峰值力：22N
- 垂直負(fù)載：5kg
- 移動(dòng)質(zhì)量：400g
- 閉環(huán)控制
- 速度：900mm/s (半行程，無(wú)負(fù)載)
- 最大加速度：45m/s2(無(wú)負(fù)載)
- 定位穩(wěn)定性：3nm
- 全行程重復(fù)精度(MCS2控制器)：±50nm(單向), ±200nm(雙向)
其他參數(shù)及選項(xiàng)
- 材質(zhì)選項(xiàng)：標(biāo)準(zhǔn)鋁座材質(zhì)
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SLC系列直線納米位移臺(tái)
SLC-17系列直線納米位移臺(tái)
| 型號(hào) | 行程 | 尺寸 | 重復(fù)精度 |
| SLC-1720 | 12 mm | 22 x 17 x 8.5 mm3 | ± 25 nm |
| SLC-1730 | 21 mm | 30 x 17 x 8.5 mm3 | ± 30 nm |
| SLC-1740 | 26 mm | 40 x 17 x 8.5 mm3 | ± 40 nm |
| SLC-1750 | 31 mm | 50 x 17 x 8.5 mm3 | ± 50 nm |
| SLC-1760 | 41 mm | 60 x 17 x 8.5 mm3 | ± 60 nm |
| SLC-1770 | 46 mm | 70 x 17 x 8.5 mm3 | ± 70 nm |
| SLC-1780 | 51 mm | 80 x 17 x 8.5 mm3 | ± 80 nm |
除SLC-1770和SLC-1780，可選低溫實(shí)驗(yàn)（如液氦溫度）版本，也可加熱至+150℃.
SLC-24系列直線納米位移臺(tái)
| 型號(hào) | 行程 | 尺寸 | 重復(fù)精度 |
| SLC-2430 | 16 mm | 30 x 24 x 10.5 mm3 | ± 30 nm |
| SLC-2445 | 29 mm | 45 x 24 x 10.5 mm3 | ± 45 nm |
| SLC-2460 | 35 mm | 60 x 24 x 10.5 mm3 | ± 60 nm |
| SLC-2475 | 49 mm | 75 x 24 x 10.5 mm3 | ± 75 nm |
| SLC-2490 | 63 mm | 90 x 24 x 10.5 mm3 | ± 90 nm |
| SLC-24105 | 69 mm | 105 x 24 x 10.5 mm3 | ± 105 nm |
| SLC-24120 | 83 mm | 120 x 24 x 10.5 mm3 | ± 120 nm |
| SLC-24150 | 103mm | 150 x 24 x 10.5 mm3 | ± 150 nm |
| SLC-24180 | 123mm | 180 x 24 x 10.5 mm3 | ± 180 nm |
SLC-2430, SLC-2445和SLC-2460，可選低溫實(shí)驗(yàn)（如液氦溫度）版本，也可加熱至+150℃.
其他參數(shù)及選項(xiàng)
- 開(kāi)環(huán)步進(jìn)：50-1500nm
- 壓電掃描范圍>1.5μm
- 壓電掃描精度<1nm
- 速度>20mm/s
- 阻塞力≥3.5N
- 垂直負(fù)載：3kg
- 1720&2430: 2kg
- 可選閉環(huán)驅(qū)動(dòng)器及分辨率
- -M: 100nm(MCS控制器), 500nm(HCU/CU控制器)
- -L: 4nm(MCS控制器), 50nm(HCU/CU控制器)
- -S, -SC: 1nm(MCS控制器)
- 非磁性材料選項(xiàng)：-NM
- 高真空和超高真空選項(xiàng)：-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
- 阻塞力增強(qiáng)選項(xiàng)：-D, +1.5N
- 氧化發(fā)黑選項(xiàng)：-BK
- 低振動(dòng)模式選項(xiàng)：-LV
- 長(zhǎng)壽命導(dǎo)軌選項(xiàng)：-Z
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | |
|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | |
| ? 光學(xué)研究： 電動(dòng)光闌、狹縫、濾光片輪、光纖準(zhǔn)直、鏡片調(diào)節(jié) ? 掃描電鏡/光學(xué)/原子力顯微鏡：樣品、探測(cè)器/光源定位、樣品操作 ? 自動(dòng)化控制：低成本、超小體積、高精度、模塊化、直接集成 ? 材料應(yīng)用：缺口測(cè)量、張力、微小壓縮測(cè)量、刮痕彎曲等測(cè)量 ? 天文、航天航空： 高加速度、低壓、低溫條件下控制 ? 度量衡學(xué)：長(zhǎng)度測(cè)量、厚度測(cè)量、坐標(biāo)測(cè)量、位置計(jì)量 ? 生命科學(xué)：細(xì)胞操作、膜片鉗、計(jì)數(shù)&分選 |
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CLL42系列滑塊式直線納米位移臺(tái)——超大行程，可更換摩擦元件
| 機(jī)械參數(shù) | |
| 行程(mm) | 99, 179, 259, 379, 499, 619 |
| 導(dǎo)軌長(zhǎng)度(mm) | 160 – 680 |
| 開(kāi)環(huán)參數(shù) | |
| 速度(mm/s) | >15 |
| 開(kāi)環(huán)分辨率（MCS2控制器） | <1nm |
| 開(kāi)環(huán)分辨率（HCU/CU控制器） | 50nm |
| 閉環(huán)參數(shù) | |
| 傳感器分辨率（MCS2控制器） | 1nm (-S)， 4nm (-L) |
| 單向運(yùn)動(dòng)重復(fù)性（MCS2控制器） | ±100nm (-S) |
| 選項(xiàng) | |
| 材料和機(jī)械選項(xiàng) | 多滑塊，沉孔，M4螺紋孔 |
| 真空兼容度 | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | |
|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | |
| ? 光學(xué)研究： 電動(dòng)光闌、狹縫、濾光片輪、光纖準(zhǔn)直、鏡片調(diào)節(jié) ? 掃描電鏡/光學(xué)/原子力顯微鏡：樣品、探測(cè)器/光源定位、樣品操作 ? 自動(dòng)化控制：低成本、超小體積、高精度、模塊化、直接集成 ? 材料應(yīng)用：缺口測(cè)量、張力、微小壓縮測(cè)量、刮痕彎曲等測(cè)量 ? 天文、航天航空： 高加速度、低壓、低溫條件下控制 ? 度量衡學(xué)：長(zhǎng)度測(cè)量、厚度測(cè)量、坐標(biāo)測(cè)量、位置計(jì)量 ? 生命科學(xué)：細(xì)胞操作、膜片鉗、計(jì)數(shù)&分選 |
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SL系列微型直線納米位移臺(tái)
| 型號(hào) | 行程 | 尺寸 | 重量 |
| SL-0610 | 4.5 mm | 11 x 11 x 5.2 mm3 | 3 g |
| SL-0620 | 11 mm | 21 x 11 x 5.2 mm3 | 6 g |
| SL-0630 | 16 mm | 31 x 11 x 5.2 mm3 | 9 g |
SL-0610，可選低溫實(shí)驗(yàn)（如液氦溫度）版本，也可加熱至+150℃.
其他參數(shù)及選項(xiàng)
- 開(kāi)環(huán)步進(jìn)：50-1500nm
- 壓電掃描范圍：1.5μm
- 壓電掃描精度<1nm
- 速度>13mm/s
- 阻塞力≥1N
- 垂直負(fù)載：100g
- 高真空和超高真空選項(xiàng)：-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | |
|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | |
| ? 光學(xué)研究： 電動(dòng)光闌、狹縫、濾光片輪、光纖準(zhǔn)直、鏡片調(diào)節(jié) ? 掃描電鏡/光學(xué)/原子力顯微鏡：樣品、探測(cè)器/光源定位、樣品操作 ? 自動(dòng)化控制：低成本、超小體積、高精度、模塊化、直接集成 ? 材料應(yīng)用：缺口測(cè)量、張力、微小壓縮測(cè)量、刮痕彎曲等測(cè)量 ? 天文、航天航空： 高加速度、低壓、低溫條件下控制 ? 度量衡學(xué)：長(zhǎng)度測(cè)量、厚度測(cè)量、坐標(biāo)測(cè)量、位置計(jì)量 ? 生命科學(xué)：細(xì)胞操作、膜片鉗、計(jì)數(shù)&分選 |
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SHL系列升降式直線納米位移臺(tái)
| 型號(hào) | 行程 | 最大舉力 | 精度 |
| SHL-1D80N-1 | 1 mm | 80 N | 1 nm |
| SHL-3D5N-5 | 5 mm | 5?N | 1 nm |
| CHS-3232-1D-5 | 5 mm | 5 N | 1 nm |
| CHS-5237-1D-10 | 10 mm | 10 N | 1 nm |
| CHS-9257-1D-15 | 20 mm | 15 N | 1 nm |
其他參數(shù)及選項(xiàng)
- 開(kāi)環(huán)步進(jìn)：50-3000nm, 50-1500nm
- 壓電掃描范圍：0.5μm
- 壓電掃描精度<1nm
- 速度>9mm/s
- 可選閉環(huán)驅(qū)動(dòng)器及分辨率
- -L: 4nm(MCS2控制器), 500nm(HCU/CU控制器)
- -S, -SC: 1nm(MCS2控制器)
- 氧化發(fā)黑選項(xiàng)：-BK
- 高真空和超高真空選項(xiàng)：-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | |
|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | |
| ? 光學(xué)研究： 電動(dòng)光闌、狹縫、濾光片輪、光纖準(zhǔn)直、鏡片調(diào)節(jié) ? 掃描電鏡/光學(xué)/原子力顯微鏡：樣品、探測(cè)器/光源定位、樣品操作 ? 自動(dòng)化控制：低成本、超小體積、高精度、模塊化、直接集成 ? 材料應(yīng)用：缺口測(cè)量、張力、微小壓縮測(cè)量、刮痕彎曲等測(cè)量 ? 天文、航天航空： 高加速度、低壓、低溫條件下控制 ? 度量衡學(xué)：長(zhǎng)度測(cè)量、厚度測(cè)量、坐標(biāo)測(cè)量、位置計(jì)量 ? 生命科學(xué)：細(xì)胞操作、膜片鉗、計(jì)數(shù)&分選 |
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